Gr1 Gr2 Gr5 Stopy tytanu TiAl Cel do rozpylania tytanu

Gr1 Gr2 Gr5 Stopy tytanu TiAl Cel do rozpylania tytanu Do powłoki PVD

- Nie.1- Materiał docelowy.

Materiał docelowy to materiał docelowy bombardowany przez wysokiej prędkości naładowane cząstki.stali nierdzewnej, tytanu, niklu itp.), można uzyskać różne systemy folii (takie jak supertwardy, odporny na zużycie, folia z stopów przeciwkorodowych itp.).

(1) Cele metalowe: cele niklowe, Ni, cele tytanowe, Ti, cele cynkowe, Zn, cele chromowe, Cr, cele magnezowe, Mg, cele niobium, Nb, cele cynowe, Sn, cele aluminiowe, Al, cele india, In,Celem żelaza, Fe, cyrkonium aluminiowy cel, ZrAl, titan aluminiowy cel, TiAl, cyrkonium cel, Zr, aluminium cylicium cel, AlSi, cylium cel, Si, miedź cel Cu, tantalum cel T, a,Cel germanium, Ge, Cel srebra, Ag, Cel kobaltu, Co, Cel złota, Au, Cel gadolinu, Gd, Cel lantanu, La, Cel yttrium, Y, Cel cerium, Ce, Cel wolframu, w, Cel stali nierdzewnej,Cel niklochromu, NiCr, hafnium Target, Hf, molibden target, Mo, żelazo-nikel target, FeNi, wolfram target, W itp.

(2) Cele ceramiczne: cel ITO, cel tlenku magnezu, cel tlenku żelaza, cel azotynku krzemu, cel węglika krzemu, cel azotynku tytanu, cel tlenku chromu, cel tlenku cynku,Cel na siarczan cynku, cel dwutlenku krzemu, jeden cel tlenku krzemu, cel tlenku sera, cel dwutlenku cyrkonium, cel pentoksydu niobu, cel dwutlenku tytanu, cel dwutlenku cyrkonium, cel dwutlenku hafnium,Cel na diborek tytanu, cysterna diborydu cyrkonu, cysterna trójtlenku wolframu, cysterna tlenku aluminium, tlenku tantału, cysterny pentoksydu niobu, cysterny fluoru magnezu, cysterny fluoru ytrynu, cysterny selenku cynku,Cel na azotany aluminium, miarownik azotku krzemu, miarownik azotku borowego, miarownik azotku tytanu, miarownik węglanu krzemu, miarownik niobatu litu, miarownik titanatu praseodymu, miarownik titanatu baru,Cel tytanu lantanu, niklu tlenku, tarczy rozpylania itp.

2Główne wymagania w zakresie wydajności

(1) Czystość

Czystość jest jednym z głównych wskaźników wydajności celu, ponieważ czystość celu ma duży wpływ na wydajność filmu.wymagania dotyczące czystości materiałów docelowych są również różneNa przykład wraz z gwałtownym rozwojem przemysłu mikroelektronicznego rozmiar płytek krzemowych wzrósł z 6" do 8" i szerokość przewodów została zmniejszona z 0,5um do 0,25um.18um lub nawet 0.13um, poprzednia czystość docelowa 99,995% może spełniać wymagania techniczne 0,35umIC, a przygotowanie linii 0,18um wymaga 99,999% lub nawet 99,9999% dla czystości docelowej.

(2) Zawartość zanieczyszczeń

Nieczystości w docelowym ciale stałym oraz tlen i para wodna w porach są głównymi źródłami zanieczyszczenia dla osadzonej folii.Różne cele mają różne wymagania dotyczące różnych zawartości zanieczyszczeńNa przykład czyste aluminium i stopy aluminium wykorzystywane w przemyśle półprzewodnikowym mają specjalne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i zawartości pierwiastków promieniotwórczych.

(3) Gęstość

Aby zmniejszyć pory w stałych materiałach docelowych i poprawić wydajność folii rozpylanego, zwykle wymagana jest większa gęstość docelowa.Gęstość celu wpływa nie tylko na szybkość rozpylaniaW przypadku, gdy film ma większą gęstość docelową, wydajność filmu jest większa.zwiększenie gęstości i wytrzymałości celu pozwala celowi lepiej wytrzymać naprężenie cieplne podczas rozpylaniaGęstość jest również jednym z kluczowych wskaźników wydajności celu.

(4) Wielkość ziarna i rozkład wielkości ziarna

Materiał docelowy jest zazwyczaj polikrystalowy, a wielkość ziarna może wynosić od mikronu do milimetra.szybkość rozpylania celu z drobnymi ziarnami jest szybsza niż w przypadku celu z grubymi ziarnami; grubość folii osadzonej poprzez rozpylanie docelowego z niewielką różnicą wielkości ziarna (jednorodne rozmieszczenie) jest bardziej jednolita.

3Materiał

(1)Czyste tytany: GR1 GR2

(2) Stopy tytanu: tytan Gr5, tytan aluminium TiAl, tytan niklu TiNi, tytan chromu TiCr, tytan cyrkonium TiZr, miedź tytanu TiCu itp.

(3)Pozostałe materiały: cele do rozpylania cyrkonu, cele do rozpylania chromu, cele do rozpylania wolframu, cele do rozpylania miedzi itp.

4Celem.

Jest szeroko stosowany w powłokach dekoracyjnych, powłokach odpornych na zużycie, płytach CD i VCD w przemyśle elektronicznym, a także w różnych powłokach dysków magnetycznych.

Filmy wolframowo-tytanowe (W-Ti) i filmy stopowe na bazie wolframowo-tytanowej (W-Ti) to filmy stopowe o wysokiej temperaturze o szeregu niezastąpionych doskonałych właściwości.Wolfram ma takie właściwości jak wysoka temperatura topnieniaStop W/Ti ma niski współczynnik odporności, dobrą stabilność termiczną i odporność na utlenianie.Takie urządzenia wymagają metalowych przewodów, które odgrywają przewodzącą rolęJednakże sam metalowy przewód jest łatwo utleniany, reaguje z otaczającym środowiskiem,i ma słabą przyczepność do warstwy dielektrycznejŁatwo się rozprasza w materiałach podłoża urządzeń, takich jak Si i SiO2, a przy niższej temperaturze tworzy metal i Si. Związki, które działają jako zanieczyszczenia,znacznie pogorszyć wydajność urządzenia. Stop W-Ti jest łatwy do użycia jako bariera dyfuzyjna przewodów ze względu na stabilne właściwości termomechaniczne, niską mobilność elektronów, wysoką odporność na korozję i stabilność chemiczną,szczególnie odpowiedni do stosowania w środowiskach o wysokim prądzie i wysokiej temperaturze .

Szczegółowe obrazy

Fabryka

Opakowanie i dostawa:

Nasz rozsądny sposób pakowania może zapobiec zderzeniu się materiałów docelowych podczas transportu.i może również zapobiegać wpływowi towarów zewnętrznych na produkt, i zapewnić, że produkt jest dostarczany po dostawie Integrity.

- Jedynka.Zamknięte opakowanie, a następnie włożone do kartonowej skrzynki lub standardowej standardowej skrzynki sklejkowej.

- Dwa.Wykorzystanie ekskluzywnego kartonu z logo klienta, każde indywidualne opakowanie, aby pomóc kupującym bezpośrednio sprzedać.

--- Akceptuj wymagania klienta

Upewnij się, że każdy zestaw jest dostosowany do Ciebie.Upewnij się, że towar nie jest uszkodzony.